Η τεχνολογία TFT αναπτύχθηκε τη δεκαετία του 1990. Υιοθετεί νέα υλικά και νέες διαδικασίες για ολοκληρωμένη τεχνολογία κατασκευής ολοκληρωμένων κυκλωμάτων ημιαγωγών μεγάλης κλίμακας. Χρησιμοποιείται για οθόνες επίπεδης οθόνης υγρού κρυστάλλου (LC), ανόργανης και οργανικής λεπτής μεμβράνης ηλεκτροφωταύγιας (EL και OEL). βάση. Το TFT είναι ένα μη ενιαίο γκοφρέτα όπως ένα γυάλινο ή πλαστικό υπόστρωμα (φυσικά, μπορεί επίσης να βρίσκεται σε μια γκοφρέτα) μέσω διεργασιών ψεκασμού και χημικής εναπόθεσης για το σχηματισμό διαφόρων μεμβρανών απαραίτητων για την κατασκευή κυκλωμάτων και ολοκληρωμένων κυκλωμάτων ημιαγωγών μεγάλης κλίμακας (LSIC ) κατασκευάζονται με επεξεργασία των ταινιών. . Η χρήση μη κρυσταλλικών υποστρωμάτων μπορεί να μειώσει σημαντικά το κόστος και αποτελεί επέκταση παραδοσιακών ολοκληρωμένων κυκλωμάτων μεγάλης κλίμακας σε κατευθύνσεις μεγάλης περιοχής, πολλαπλών λειτουργιών και χαμηλού κόστους. Είναι πιο τεχνικά δύσκολο να κατασκευαστούν TFT που ελέγχουν την απόδοση μεταγωγής pixel (LC ή OLED) σε γυάλινα ή πλαστικά υποστρώματα μεγάλης περιοχής από το να κατασκευάζουν ICs μεγάλης κλίμακας σε πλακίδια πυριτίου. Οι απαιτήσεις για το περιβάλλον παραγωγής (ο βαθμός καθαρισμού είναι 100), οι απαιτήσεις για την καθαρότητα των πρώτων υλών (η καθαρότητα του ειδικού ηλεκτρονικού αερίου είναι 99,999985%) και οι απαιτήσεις για εξοπλισμό παραγωγής και τεχνολογία παραγωγής υπερβαίνουν τη μεγάλης κλίμακας ολοκλήρωση των ημιαγωγών . Είναι η κορυφή της σύγχρονης μεγάλης κλίμακας παραγωγής. τεχνολογία. Τα κύρια χαρακτηριστικά του είναι:
(1) Μεγάλη έκταση: Η γραμμή παραγωγής TFT-LCD πρώτης γενιάς γυάλινου υποστρώματος (300mm × 400mm) τέθηκε σε παραγωγή στις αρχές της δεκαετίας του 1990. Μέχρι το πρώτο εξάμηνο του 2000, η επιφάνεια του γυάλινου υποστρώματος είχε επεκταθεί στα 680mm × 880mm) και το μέγεθος του γυάλινου υποστρώματος ήταν 950mm × 1200mm. Το γυάλινο υπόστρωμα θα τεθεί επίσης σε λειτουργία. Κατ 'αρχήν, δεν υπάρχει περιορισμός περιοχής.
(2) Υψηλή ενσωμάτωση: Το τσιπ TFT 1,3 ιντσών που χρησιμοποιείται για προβολή υγρών κρυστάλλων έχει ανάλυση XGA που περιέχει εκατομμύρια pixel. Το πάχος του φιλμ του άμορφου πυριτίου συστοιχίας 16,1 ιντσών TFT με ανάλυση SXGA (1280 × 1024) είναι μόνο 50nm και οι τεχνολογίες TAB ON GLASS και SYSTEM ON GLASS, η ενσωμάτωση του IC, οι απαιτήσεις για εξοπλισμό και τεχνολογία προμήθειας , και η τεχνική δυσκολία Όλα υπερβαίνουν το παραδοσιακό LSI.
(3) Ισχυρές λειτουργίες: Το TFT χρησιμοποιήθηκε για πρώτη φορά ως κύκλωμα θέσης μήτρας για τη βελτίωση των χαρακτηριστικών της φωτεινής βαλβίδας των υγρών κρυστάλλων. Για οθόνες υψηλής ανάλυσης, μέσω ρύθμισης τάσης στο εύρος 0-6V (τυπικά 0,2 έως 4V), επιτυγχάνεται ακριβής έλεγχος του αντικειμένου, καθιστώντας δυνατή την επίτευξη LCD υψηλής ποιότητας και υψηλής ανάλυσης οθονών. Το TFT-LCD είναι η πρώτη επίπεδη οθόνη στην ανθρώπινη ιστορία που υπερβαίνει το CRT σε ποιότητα οθόνης. Και οι άνθρωποι αρχίζουν να ενσωματώνουν το IC του οδηγού στο γυάλινο υπόστρωμα και η λειτουργία ολόκληρου του TFT θα είναι πιο ισχυρή, κάτι που δεν ταιριάζει με τα παραδοσιακά ολοκληρωμένα κυκλώματα ημιαγωγών μεγάλης κλίμακας.
(4) Χαμηλό κόστος: Το γυάλινο υπόστρωμα και το πλαστικό υπόστρωμα επιλύουν ουσιαστικά το πρόβλημα κόστους των ολοκληρωμένων κυκλωμάτων ημιαγωγών μεγάλης κλίμακας και ανοίγουν ένα ευρύ χώρο εφαρμογής για την εφαρμογή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων ημιαγωγών μεγάλης κλίμακας.
